KLA-Tencor Surfscan SP2 顆粒檢測儀是一款先進(jìn)的掩模和晶圓檢測設備，廣泛應用于集成電路(IC)制造過(guò)程中的缺陷檢測與分類(lèi)。 該系統采用先進(jìn)的光學(xué)、電學(xué)和機械組件，能夠檢測并糾正各種類(lèi)型的掩模和晶圓上的缺陷。 Surfscan SP2使用專(zhuān)li技術(shù)和高精度成像技術(shù)，能夠在微觀(guān)水平上捕捉細節，并與參考模型進(jìn)行比較，從而實(shí)現對掩模和晶片表面制造缺陷的可靠檢測和識別

KLA-Tencor SFS6420 顆粒檢測儀是一種用于晶圓檢測和計量的系統，廣泛應用于半導體制造領(lǐng)域。該設備由KLA-Tencor公司生產(chǎn)，具有多種功能和特點(diǎn)。 功能與應用： 表面分析：SFS6420是一種多功能的表面分析工具，能夠檢測、計數和測量亞微米級顆粒，適用于多晶硅和鎢等粗糙表面。 缺陷檢測：該系統可以進(jìn)行高分辨率的缺陷檢測，包括掩模對準和覆蓋精度的檢測。