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簡(jiǎn)要描述:KLA-Tencor Surfscan SP2 顆粒檢測儀是一款先進(jìn)的掩模和晶圓檢測設備,廣泛應用于集成電路(IC)制造過(guò)程中的缺陷檢測與分類(lèi)。該系統采用先進(jìn)的光學(xué)、電學(xué)和機械組件,能夠檢測并糾正各種類(lèi)型的掩模和晶圓上的缺陷。Surfscan SP2使用專(zhuān)li技術(shù)和高精度成像技術(shù),能夠在微觀(guān)水平上捕捉細節,并與參考模型進(jìn)行比較,從而實(shí)現對掩模和晶片表面制造缺陷的可靠檢測和識別
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KLA-Tencor Surfscan SP2 顆粒檢測儀
KLA-Tencor Surfscan SP2是一款先進(jìn)的掩模和晶圓檢測設備,廣泛應用于集成電路(IC)制造過(guò)程中的缺陷檢測與分類(lèi)。該系統采用先進(jìn)的光學(xué)、電學(xué)和機械組件,能夠檢測并糾正各種類(lèi)型的掩模和晶圓上的缺陷。
Surfscan SP2使用專(zhuān)li技術(shù)和高精度成像技術(shù),能夠在微觀(guān)水平上捕捉細節,并與參考模型進(jìn)行比較,從而實(shí)現對掩模和晶片表面制造缺陷的可靠檢測和識別。其主要功能包括:
1. **高分辨率成像**:Surfscan SP2可以提供優(yōu)于掃描電子顯微鏡(SEM)模式的分辨率和精度,使其在缺陷檢測方面具有顯著(zhù)優(yōu)勢。
2. **自動(dòng)化解決方案**:該系統設計為自動(dòng)化操作,能夠提高生產(chǎn)效率,每小時(shí)檢查更多的晶圓或在不損失吞吐量的情況下使用更高的靈敏度設置。
3. **多種檢測模式**:支持斜入射和平行入射分析,能夠計算出匹配SP2空間帶寬的“頻率匹配"粗糙度。
4. **兼容性與維護**:Surfscan SP2的部件如Z軸電機等都是高質(zhì)量標準生產(chǎn)的,確保了系統的穩定性和可靠性。
此外,KLA-Tencor公司還推出了升級版的Surfscan SP2XP,進(jìn)一步提升了系統的性能和吞吐量,使工廠(chǎng)能夠更高效地進(jìn)行晶圓檢測。
總之,KLA-Tencor Surfscan SP2是一種高性能的晶圓檢測設備,通過(guò)先進(jìn)的成像技術(shù)和自動(dòng)化操作,為集成電路制造過(guò)程提供了可靠的缺陷檢測和分類(lèi)手段。
高性能掩模和晶圓檢測設備
使用先進(jìn)的成像技術(shù)
專(zhuān)為集成電路市場(chǎng)設計
檢測和修正掩模和晶圓上的缺陷
支持多種晶圓類(lèi)型
提供無(wú)與倫bi的可見(jiàn)性
高分辨率和準確性
低表面霧化檢測能力,最di0.3 ppm
超過(guò)前代Surfscan SP2的高吞吐量
處理從2英寸到8英寸/200mm晶圓
檢測微觀(guān)水平細節,與參考模型比較
提供多種光學(xué)組件、備件和服務(wù)
包括Z軸電機等關(guān)鍵部件
集成電路(IC)市場(chǎng)采用的控片檢測系統
用于生產(chǎn)過(guò)程監控
產(chǎn)品咨詢(xún)
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