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簡(jiǎn)要描述:性能規格:圖像分辨率:3nm (30A) at 0.8kv 加速電壓加速電壓范圍:0.5kv 至 1.3kv工作距離:固定放大倍率范圍:1 kx 至 300 kx測量范圍:0.1 至 2.0 u重現性:3 nM測量模式:全功能、多功能吞吐量:45片/小時(shí)SEM 圖像:1kx 至 300kx,保證重現性 40kx ti 200kx載物臺位置控制:線(xiàn)性刻度反饋
詳細介紹
HITACHI S-9220掃描電子顯微鏡(SEM)
性能規格:
圖像分辨率:3nm (30A) at 0.8kv 加速電壓
加速電壓范圍:0.5kv 至 1.3kv
工作距離:固定
放大倍率范圍:1 kx 至 300 kx
測量范圍:0.1 至 2.0 u
重現性:3 nM
測量模式:全功能、多功能
吞吐量:45片/小時(shí)
SEM 圖像:1kx 至 300kx,保證重現性 40kx ti 200kx
載物臺位置控制:線(xiàn)性刻度反饋
系統配置:
目前配置為 200mm 晶圓尺寸
盒式接口(裝載機單元):
Asyst 集成 SMIF
MECS 機器人/Cntrl
Leybold Turbo 帶控制器
載物臺和檢查單元:X,Y 行程范圍:0 – 200mm
控制單元
系統軟件:
主機: : v12.41
SEM: 12.43
IPS: 12.40 (4500)
HV: 04.02
Stage: 01.07
Evac: 2.01
DSP: 11.10
WT: 4.05
支持選項:
缺陷檢測
Mag Max X300k
SECE
自動(dòng) Vid
多點(diǎn)測量
保存到 Dos FD
邊緣粗糙度
IP 讀取
孔測量
SMIF
減少掃描
操作員訪(fǎng)問(wèn)
缺陷類(lèi)型 KLA
圖像增強
圖像數據庫
快速 AFC
MO 驅動(dòng)器:640MB
熱敏打印機
視頻打印機
SECS/GEM 接口
真空隔離塊和軟管
動(dòng)力裝置
功率要求:208VAC,6kVA,1相,50A,頻率60 Hz
產(chǎn)品咨詢(xún)
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