臨界尺寸掃描電子顯微鏡

Hitachi CG4000是一款臨界尺寸掃描電子顯微鏡（CD-SEM）.它專(zhuān)為超精細半導體器件而設計.

以下是一些主要規格和功能：

• 分辨率：1.8nm（加速電壓：800V）

• 重復性：±1% 或 0.3 nm （3 sigma）（采用日立標準晶圓）

• 晶圓尺寸：300mm（200mm）

• 產(chǎn)量：36 片晶圓/小時(shí)（晶圓上有 20 個(gè)測量點(diǎn)）

• 加速電壓：300 - 1,600 V （10V步進(jìn)） （200 - 2,000 V：可選）

• 它提供高分辨率、高精度的計量可重復性

• 它包括高精度平均 CD （ACD） 計量功能

• 它支持行業(yè)標準的線(xiàn)邊緣粗糙度 （LER） 計量功能

• 它具有改進(jìn)的可操作性和自動(dòng)維護功能

該器件被廣泛用作半導體工藝中CD測量的主要工具.它能夠實(shí)現亞納米級的測量精度以及高分辨率、高精度的計量可重復性和高通量.它旨在應對半導體行業(yè)設計規則不斷縮小時(shí)對過(guò)程控制的嚴格要求.它是一款功能強大的工具，可提供寬加速電壓范圍、高靈敏度數字成像、電荷保護校正、能量濾波器功能、精確運動(dòng)控制以及自動(dòng)樣品交換和聚焦.