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簡(jiǎn)要描述:日立S-9300是一款高性能的掃描電子顯微鏡(SEM),用于高精度成像和分析。具體介紹如下:技術(shù)規格與特性:日立S-9300能實(shí)現高達1000至300000倍的放大,提供高分辨率成像。日立S-9300具有3納米的測量重復性和分辨率,適用于精確的樣品分析
詳細介紹
Hitachi S-9300 是一款 CD SEM(臨界尺寸掃描電子顯微鏡)
用于測量半導體工藝中的精細圖案尺寸.
以下是主要規格:
制造商: Hitachi
型號: S-9300
晶圓尺寸:200mm
電子光學(xué)系統:
電子槍:肖特基發(fā)射源
加速電壓:500V至1600V,10V步進(jìn)
探頭電流:4~24pA,通過(guò)法拉第杯自動(dòng)設置和測量
電磁透鏡:帶升壓電壓的 3 級電磁透鏡系統
物鏡:4 個(gè)開(kāi)口咔嗒停止,加熱孔徑可在真空外選擇/調節
掃描線(xiàn)圈:2級電磁偏轉
散光校正:通過(guò) 8 極電磁線(xiàn)圈
放大倍率:1000 倍至 >300000 倍
現場(chǎng)控制方法:在所有電壓下連續開(kāi)啟樣品放電
晶圓成像能力:8英寸(或12英寸)晶圓的整個(gè)表面
景深:80000倍放大倍率下>= 1.0um
分辨率:3nm (800V) 緩速/升壓模式
光學(xué)顯微鏡系統:
圖像:?jiǎn)紊?,使用CCD相機
放大倍率:110倍
晶圓成像:X 覆蓋范圍為 5 – 295mm,Y 覆蓋范圍為 5 – 195mm,缺口向下
視場(chǎng)角:1.2mm
工作站型號: HP B180L (9GB)
操作系統:Unix 版本 HP-UX 10.20 或更高版本
軟件版本:14.71 或更高版本
它還配備了激光干涉儀平臺,可實(shí)現超高目標尋址精度、迷你環(huán)境和兼容 FOUP 的負載端口.可以支持高級自動(dòng)化場(chǎng)景,例如通過(guò)自動(dòng)物料搬運系統(AMHS)進(jìn)行FOUP交付和單個(gè)晶圓識別.
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