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    顆粒檢測儀

    簡(jiǎn)要描述:KLA-Tencor SFS6420 顆粒檢測儀是一種用于晶圓檢測和計量的系統,廣泛應用于半導體制造領(lǐng)域。該設備由KLA-Tencor公司生產(chǎn),具有多種功能和特點(diǎn)。
    功能與應用:
    表面分析:SFS6420是一種多功能的表面分析工具,能夠檢測、計數和測量亞微米級顆粒,適用于多晶硅和鎢等粗糙表面。
    缺陷檢測:該系統可以進(jìn)行高分辨率的缺陷檢測,包括掩模對準和覆蓋精度的檢測。

    • 產(chǎn)品型號:SFS6420
    • 廠(chǎng)商性質(zhì):經(jīng)銷(xiāo)商
    • 更新日期:2024-08-01
    • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:32

    詳細介紹

    KLA-Tencor SFS6420 顆粒檢測儀


    產(chǎn)品概述

    名稱(chēng):KSLA-Tencor SFS6420

    制造商:KLA-Tencor

    尺寸:8英寸

    主要功能

    粒子檢測與計數

    用于檢測粗糙表面如多晶硅和鎢的亞微米粒子

    提供比0.10 μm更優(yōu)敏感性的精細度

    表面分析工具

    設計用于滿(mǎn)足廣泛應用的需求

    利用最新光學(xué)技術(shù),易于在粗糙表面上檢測亞微米粒子的能力

    高速自動(dòng)化測試

    能實(shí)時(shí)分析現場(chǎng)條件,適用于在線(xiàn)和離線(xiàn)應用

    每小時(shí)可運行500個(gè)晶圓的自動(dòng)化測試能力

    技術(shù)特點(diǎn)

    多傳感器技術(shù)

    提供創(chuàng )新的特性,如多傳感器技術(shù)

    實(shí)時(shí)信息提供

    通過(guò)統計分析和趨勢分析為用戶(hù)提供與產(chǎn)品質(zhì)量相關(guān)的實(shí)時(shí)信息

    應用領(lǐng)域

    晶圓檢測系統

    用于監控裸硅晶圓及其表面粒子和缺陷

    PCB ASSY BELOW WFR DET FOR SFS6420

    與KLA-Tencor的其他設備兼容,用于PCB組裝板下的WFR檢測



    產(chǎn)品咨詢(xún)

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