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簡(jiǎn)要描述:KLA-Tencor SFS6420 顆粒檢測儀是一種用于晶圓檢測和計量的系統,廣泛應用于半導體制造領(lǐng)域。該設備由KLA-Tencor公司生產(chǎn),具有多種功能和特點(diǎn)。功能與應用:表面分析:SFS6420是一種多功能的表面分析工具,能夠檢測、計數和測量亞微米級顆粒,適用于多晶硅和鎢等粗糙表面。缺陷檢測:該系統可以進(jìn)行高分辨率的缺陷檢測,包括掩模對準和覆蓋精度的檢測。
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KLA-Tencor SFS6420 顆粒檢測儀
名稱(chēng):KSLA-Tencor SFS6420
制造商:KLA-Tencor
尺寸:8英寸
粒子檢測與計數
用于檢測粗糙表面如多晶硅和鎢的亞微米粒子
提供比0.10 μm更優(yōu)敏感性的精細度
表面分析工具
設計用于滿(mǎn)足廣泛應用的需求
利用最新光學(xué)技術(shù),易于在粗糙表面上檢測亞微米粒子的能力
高速自動(dòng)化測試
能實(shí)時(shí)分析現場(chǎng)條件,適用于在線(xiàn)和離線(xiàn)應用
每小時(shí)可運行500個(gè)晶圓的自動(dòng)化測試能力
多傳感器技術(shù)
提供創(chuàng )新的特性,如多傳感器技術(shù)
實(shí)時(shí)信息提供
通過(guò)統計分析和趨勢分析為用戶(hù)提供與產(chǎn)品質(zhì)量相關(guān)的實(shí)時(shí)信息
晶圓檢測系統
用于監控裸硅晶圓及其表面粒子和缺陷
PCB ASSY BELOW WFR DET FOR SFS6420
與KLA-Tencor的其他設備兼容,用于PCB組裝板下的WFR檢測
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全國統一服務(wù)電話(huà)
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