臨界尺寸掃描電子顯微鏡

HITACHI CG 4100臨界尺寸掃描電子顯微鏡（CD-SEM）

分辨率：1.8 nm產(chǎn)量：42片/小時(shí)MAM 時(shí)間：2.8 秒級著(zhù)陸精度：±1μm

Hitachi CG 4100 是一款關(guān)鍵尺寸掃描電子顯微鏡 （CD-SEM），專(zhuān)為半導體和納米技術(shù)領(lǐng)域的高性能應用而設計。主要規格和功能包括：

1. 分辨率：CG 4100 提供高分辨率成像功能，分辨率低至 1.8 納米，這對于詳細分析材料和半導體器件中的小特征至關(guān)重要。

2. 吞吐量：該系統每小時(shí)可處理多達 42 片晶圓，適用于大批量制造環(huán)境。

3. 載物臺精度：載物臺著(zhù)陸精度為 ±1 微米，確保精確定位以實(shí)現一致的測量。

4. 高壓操作：顯微鏡在高達150kV的加速電壓下工作，為更好的成像和分析提供高能量。

5. 成像和分析：CG 4100 配備先進(jìn)的電子光學(xué)元件和強大的電子槍?zhuān)商峁┏錾膱D像清晰度和清晰度。它還包括自動(dòng)對焦和導航系統，以提高易用性和效率。

6. 軟件和自動(dòng)化：CG 4100 具有智能自動(dòng)化功能，包括自動(dòng)機械臂、圖像分析軟件和可定制的配置，以滿(mǎn)足各種用戶(hù)需求。這樣可以快速準確地收集和分析數據。

7. 模塊化設計：模塊化設計允許使用不同的探測器和載物臺進(jìn)行可定制的配置，以適應特定應用，例如吸收和發(fā)射光譜、高分辨率成像和能量色散光譜。

這些特性使 Hitachi CG 4100 成為各種科學(xué)和工業(yè)應用中詳細 3D 成像和分析的理想選擇