當前位置:首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > 量測 > 電子束量測 > S-9260A臨界尺寸掃描電子顯微鏡 (CD SEM)
簡(jiǎn)要描述:HITACHI S-9260A是一種先進(jìn)的掃描電子顯微鏡(SEM),設計用于各種研究和印刷應用的最佳性能。它具有的分辨率,非常適合成像微小的顆粒和結構,如蛋白質(zhì)和病毒。SEM利用電子束生成放置在SEM腔內的樣品圖像。電子與樣品表面相互作用,穿透并導致樣品發(fā)射二次電子,然后被檢測到。
詳細介紹
HITACHI S-9260A
臨界尺寸掃描電子顯微鏡(CD-SEM),8"晶圓形狀:SEMI或JEIDA打開(kāi)盒式磁帶裝載機單元電子槍?zhuān)盒ぬ鼗l(fā)射源加速電壓:300 - 1600 V物鏡:加熱式活動(dòng)孔徑:4孔可變掃描線(xiàn)圈:2級電磁偏轉圖像分辨率:30 A 時(shí)為 3 nm,0.8 Kv散光校正:8極電磁線(xiàn)圈放大倍率范圍:500X - 300,000X測量范圍:0.1 - 2.0 um產(chǎn)量:每小時(shí) 65 片晶圓光學(xué)顯微鏡:1.2 x 1.2 mm 黑白視圖晶圓載物臺XY 范圍:0“- 8"驅動(dòng)電機:脈沖電機工作站:HP B2600操作系統: HP-UX 10.20軟件版本 18.35主持人:18.35SEM:18.35IPS的:18.35(4500)IPS_V: 18.35貴賓:07.21.X1階段: 02.05疏散: 02.05高功率:04.02WT:塔茲莫,IC1:05.13L;港鐵-DA1-E:05.08CD重復性模式:0.24,3Sigma:0.761模式:0.48,3Sigma:0.93模式:0.72,3Sigma:0.77模式:0.96,3Sigma:0.85一個(gè)圖案晶圓的CD測量,3Sigma:1.22電源顯示冷水機:W5010T(2) Edwards 干泵:負載鎖和試樣室
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