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    橢圓偏光儀

    簡(jiǎn)要描述:RUDOLPH S3000A 橢圓偏光儀是一種高性能的橢圓偏光計,廣泛應用于半導體行業(yè)。以下是其詳細規格參數:
    波長(cháng):該設備配備532nm的激光源。
    樣品尺寸:適用于12英寸晶圓。
    測量功能:
    薄膜厚度、折射率、光學(xué)常數和材料屬性等。
    可以進(jìn)行無(wú)損和原位測量,具有出色的重復性、準確性和長(cháng)期穩定性。

    • 產(chǎn)品型號:S3000A
    • 廠(chǎng)商性質(zhì):經(jīng)銷(xiāo)商
    • 更新日期:2024-07-31
    • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:53

    詳細介紹

    RUDOLPH S3000A 橢圓偏光儀

    Rudolph S3000A 橢圓偏光儀概述

    先進(jìn)的光譜橢圓儀

    高性能,精確度高

    多通道雙波長(cháng)光譜橢圓儀

    主要特點(diǎn)

    波長(cháng)范圍廣(118-8000nm)

    材料范圍廣泛(有機和無(wú)機半導體、薄膜等)

    可測量薄膜厚度和光學(xué)性能

    重復性和可靠性

    技術(shù)規格

    自校準光機、光纖激光二極管源和高分辨率彩色CCD檢測器

    基于Windows操作系統,先進(jìn)流程控制軟件

    自動(dòng)化測量薄膜的厚度、光學(xué)常數、應力和折射率

    應用領(lǐng)域

    半導體行業(yè)生產(chǎn)用透明度計量工具

    晶圓測試和計量設備,適用于半導體和高級封裝生產(chǎn)線(xiàn)

    技術(shù)優(yōu)勢

    無(wú)損光學(xué)成像技術(shù)

    X射線(xiàn)探測技術(shù),測量粒子/缺陷密度、尺寸和材料特性

    產(chǎn)品信息

    晶圓尺寸為12英寸

    設計用于300mm fab范圍內的應用






    RUDOLPH S3000A是一款高性能的橢圓偏光儀,廣泛應用于薄膜和表面的無(wú)損測量。該設備具有以下主要特點(diǎn):

    1. 高精度與高重復性:RUDOLPH S3000A能夠提供精確、可靠的測量結果,適用于科學(xué)和工業(yè)應用。

    2. 多通道雙波長(cháng)設計:它是一種先進(jìn)的多通道、雙波長(cháng)光譜橢圓偏光儀,可以同時(shí)對多達四個(gè)樣品進(jìn)行測量,確保了結果的可重復性和可靠性。

    3. 寬波長(cháng)范圍:該設備支持從118到8000納米的廣泛波長(cháng)范圍,能夠測量有機和無(wú)機半導體、薄膜、光學(xué)層和基板等多種材料。

    4. 溫度控制與數據收集:配備溫度控制系統和數據收集功能,使得用戶(hù)可以方便地進(jìn)行旋轉分析和數據分析。

    5. 自校準光機與高分辨率檢測器:配備自校準光機和高分辨率彩色CCD檢測器,確保了測量的準確性和長(cháng)期穩定性。

    6. 用戶(hù)友好的軟件工具:基于Windows的操作系統和先進(jìn)的流程控制軟件,使操作更加簡(jiǎn)便,并且便于定制和分析。

    7. 晶片尺寸兼容性:可以測量最大150毫米的晶片,樣本厚度范圍為1毫米至4毫米,還可以通過(guò)選配模塊提升性能。

    8. 應用領(lǐng)域:該設備不僅適用于薄膜厚度和光學(xué)常數的測量,還能夠測量應力和折射率等物理特性,適用于各種科學(xué)和工業(yè)應用。

    總之,RUDOLPH S3000A是一款功能強大且用途廣泛的橢圓偏光儀,適合需要高精度和高重復性的科學(xué)研究和工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境。






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