光學(xué)顯微鏡

OLYMPUS AL120 光學(xué)顯微鏡

是一種用于半導(dǎo)體晶圓搬送及檢測的顯微鏡系統(tǒng)，具有多種型號(hào)和配置，以滿足不同尺寸和需求的晶圓處理。我們可以詳細(xì)描述其主要特點(diǎn)和功能：

1. **適用范圍**：

   - AL120系列包括三種基本機(jī)型：單200mm（AL120-L8）、150mm和200mm兼容（AL120-L86）以及單150mm或以下尺寸（AL120-L6）。

   - 這些系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于晶圓傳輸和顯微鏡檢查，并且可以進(jìn)行晶圓的正面和背面宏觀檢查。

2. **顯微鏡配置**：

   - AL120搭載了奧林巴斯MX專業(yè)晶圓檢查顯微鏡系列，支持多種觀測方法，包括明視場、暗視場、微分干涉（DIC）、近紅外線（IR）和深紫外線（DUV），從而實(shí)現(xiàn)卓yue的圖像分辨率。

   - 具體型號(hào)如AL120-LMB12-LP3和AL120-LMB12-F等，都配備了相應(yīng)的操作手冊(cè)和維護(hù)指南。

3. **參數(shù)與性能**：

   - 晶圓裝卸器的參數(shù)和配方設(shè)置顯示在LCD顯示屏上，便于操作員快速選擇不同的產(chǎn)品。

   - 系統(tǒng)具備配方驅(qū)動(dòng)功能，包含10種可編程系統(tǒng)配置，這些配置包括特定晶圓匣類型、晶圓規(guī)格和傳輸速度。

4. **安全性和使用便利性**：

   - AL120系列提供了非接觸式中心定位功能，確保晶圓在顯微鏡臺(tái)上的精確放置，并且可以在顯微鏡檢查過程中旋轉(zhuǎn)360度。

   - 手冊(cè)中詳細(xì)介紹了如何充分利用設(shè)備的性能并確保安全操作，建議用戶在操作前閱讀并保留手冊(cè)作為未來參考。

5. **適用場景**：

   - AL120非常適合于前道到后道工程的晶圓檢查，能夠高效安全地搬送薄片晶圓。

   - 它適用于硅、化合物晶圓以及平板顯示器的檢查。

綜上所述，OLYMPUS AL120 光學(xué)顯微鏡是一款功能強(qiáng)大且靈活的半導(dǎo)體晶圓搬送及檢測顯微鏡系統(tǒng)，適用于各種尺寸的晶圓處理和顯微檢查任務(wù)。其先進(jìn)的技術(shù)和多樣的配置使其成為工業(yè)和科研領(lǐng)域中的重要工具。