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詳細介紹
KLA-Tencor Puma 9100 晶圓檢測儀
是一款先進的半導體晶圓測試和計量設備，廣泛應用于生產及研發(fā)領域。該設備具有高精度和可重復性的特點，能夠提供精確的微觀級測量能力。它配備了易于使用的裝載端口、機器人和光學檢查功能，以及多軸平臺，用于實現精確的微米級測量。
此外，Puma 9100 還集成了圖像傳感器和智能系統(tǒng)，以確保光學測量的準確性，并且具備自動化的樣品處理能力，可以無限制地進行檢查區(qū)域的成像。該設備還支持暗場缺陷檢測，這使得它在識別電子制造過程中的潛在缺陷方面表現出色。
總體而言，KLA-Tencor Puma 9100 是一款多功能且高效的晶圓測試系統(tǒng)，適用于各種半導體制造和研究應用，提供了高度精確的測量能力和靈活的部署方案。
自動化晶圓測試和計量設備
設計用于生產、研發(fā)應用，提供高精度和重復性
高分辨率成像
無限制檢查區(qū)域
自動化樣品處理能力
多軸定位精確微米級測量
圖像傳感器和智能用于準確的光學測量
半導體行業(yè)設計先進計量和晶圓測試設備
為識別電子制造過程中的潛在缺陷提供高度精確的測量能力
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